PECVD日常报警说明-宝贝直播app免费版下载

　　说明：高频发生器超过第一（二）个位置，如果在镀膜中退出，如已经沉积到氮化硅，检查镀膜时间后宝贝直播app免费版下载，选择手动工艺输入剩余时间。

　　Vacuum tube out of 1st(2nd) tolerance.说明：石英管内的真空度超过第一（二）个限值。系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次，由于某种原因导致抽真空被延时，在特定的时间内无法达到真空设定值的要求，系统会出现这样的报警，检查一下状态栏中的压力值和真空泵的工作是否正常，如正常过几分钟后报警会自动解除；如果此报警连同第（八）个报警一起出现的话，联系工序长和领班。

　　Boat sensor of grab has changed without permission.说明：机械手上的传感器被非允许移动。机械手喜爱上下移动时不会前后移动，若这时前后的位置发生变化，机械臂将会被锁定，出现报警。此警报需要通知工序长或领班。

　　Collective alert pump st.1说明：真空泵报警。一般情况下是由于真空泵的负压太大，导致报警。如复位无效的话通知工序长或领班。

　　出现这种报警的原因是多面的：高频放电失败、管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定（冷却水报警），都会出现这样的报警，出现超过第一个限值报警，只是警告；超过第二个限值报警出现后工艺会自动停止，此时报警消失，出现第五个报警信息

　　Warming: check SiH4 distribution.说明：警告,检查硅烷的流量。检查硅烷的流量是否于设定值吻合，如果不是退出并重新运行工艺

　　Boat collision.说明：舟被撞击。Handling对话框中将舟移动到安全的位置；若是在上下舟，检查一下小车和储存架的位置是否于舟的位置匹配。

　　Boat failure.说明：退舟失败。检查舟在桨上的位置，如果正确手动将桨复位；如果不正确，戴上高温手套把舟拉到正确的位置后手动复位。

　　VN: No process boat in source position.说明：在设定的位置没有舟的存在。通常是因为机械臂将石墨舟放到储存架上，储存架上的传感器没有感应到。调节传感器或者调节舟的位置即可。